Металлические пленки в производстве полупроводниковых приборов : Отечественная и иностранная литература за 1969-1974 гг. (369 назв.) /
Сост.: Л.Ф. Ижмякова, В.В. Щеглова; Ред. В.В. Щеглова; М-во электронной пром-сти СССР.
- Москва : ЦНИИ "Электроника", 1975.
- 86 с. ; 22 см.
- Тематические указатели литературы Серия: Материалы Вып. 3(137) .