Низкотемпературная плазма и ее применение в производстве электронных приборов : Тематические указатели литературы /
Сост. А.В. Дубравина; Мин-во электронной промышл. СССР.
- Москва : ЦНИИ "Электроника", 1975.
- 42 с. ; 22 см.
- Технология, организация производства и оборудование Вып. 7(136) .