TY  - BOOK
AU  - Вавилов,В.С.
AU  - Гусев,И.М.
TI  - Легирование полупроводников ионным внедрением: Сборник статей : Пер. с англ. 
PY  - 1971///
CY  - Москва
PB  - Мир
KW  - Полупроводники
ER  -