Киреев, Валерий Юрьевич <br/><br/>
Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы / 
 Химическое осаждение из газовой фазы 
В. Киреев, А. Столяров. 
 - Москва :  Техносфера,  2006. 
 - 190 с. :  ил., табл. 
 - Мир электроники  VII, 17 .
<br/><br/>Библиогр.: с. 188-190 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5-94836-039-3 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Радиоэлектроника--Радиотехника<br/>Радиоэлектронная аппаратура<br/>Микроэлектроника--Интегральные схемы--Технология производства--Нанесение покрытий