Кристаллизация тонких пленок / ИЭ АН УзССР ; Отв. ред. У.А. Арифов. - Ташкент : Фан , 1970. - 216 с. : рис. Библиогр. в конце глав Subjects--Topical Terms: Получение тонких слоев, тонких пленок