TY  - BOOK
AU  - Плешивцев,Н.В.
TI  - Катодное распыление
PY  - 1968///
CY  - Москва
PB  - Атомиздат
KW  - Катодное распыление
N2  - Библиогр.: с. 297-334. Предм. указ.: с. 335-339
ER  -