TY - BOOK AU - Афонский,А.А. AU - Дьяконов,В.П. TI - Электронные измерения в нанотехнологиях и микроэлектронике SN - 978-5-94074-626-3 PY - 2011/// CY - Москва PB - ДМК Пресс KW - Электронные измерения ER -