Benda, Hansjochen. <br/><br/>
Einführung in die Grundlagen der Halbleitertechnik / 
H. Benda. 
 - 5. Aufl. 
 - Berlin ;  München :  Siemens Aktiengesellschaft,  1978. 
 - 64 S. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>3-8009-4001-9 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Halbleitertechnik