TY  - BOOK
AU  - Малин,Б,В.
AU  - Эрез,Т.И.
TI  - Основы фотолитографии в производстве интегральных схем
PY  - 1973///
CY  - Москва
PB  - Изд-во ЦНИИ "Электроника"
KW  - Электротехника
N1  - Библиогр.: с. 35-38
ER  -