Малин, Б,В. Основы фотолитографии в производстве интегральных схем / Б.М. Малин, Т.И. Эрез; М-во электронной промышленности СССР. - Москва : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1973. - 39 с. : ил. - Обзоры по электронной технике Микроэлектроника 2(86) . Библиогр.: с. 35-38 Subjects--Index Terms: Электротехника