Рубцова, Нина Николаевна <br/><br/>
Основные проблемы современной фотолитографии :  (Аналитический обзор) / 
И.Н. Рубцова; М-во электр. промышленности СССР. 
 - Москва :  Электроника,  1973. 
 - 64 с. :  ил. 
 - Обзоры по электронной технике. Сер. полупроводниковые приборы  3(98) .
<br/><br/>Библиогр.: с. 57-64 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Фотолитография