TY  - BOOK
AU  - Шермергор,Т.Д.
ED  - Московский институт электронной техники
TI  - Физические основы микроэлектроники: Сборник научных трудов 
PY  - 1979///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - Микроэлектроника
N1  - Библиогр. в конце ст
ER  -