Физические основы микроэлектроники :  Сборник научных трудов / 
Моск. ин-т электрон. техники ; [Ред. Т.Д. Шермергор]. 
 - Москва :  МИЭТ,  1979. 
 - 159 с. :  ил. 
<br/><br/>Библиогр. в конце ст. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника