TY  - BOOK
AU  - Блинов,Иван Григорьевич
ED  - Московский институт электронной техники
TI  - Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике: Сборник научных трудов 
PY  - 1981///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - Электронная технология - Сборники
N1  - Библиогр. в конце работ
ER  -