Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике :  Сборник научных трудов / 
Моск. ин-т электрон. техники; [Редкол.: Блинов И. Г. (отв. ред.) и др.]. 
 - Москва :  МИЭТ,  1981. 
 - 151 с. :  ил. 
<br/><br/>Библиогр. в конце работ 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Электронная технология - Сборники