Физика микроэлектронных приборов :  Сборник научных трудов / 
Моск. ин-т электрон. техники; [Редкол.: Т. Д. Шермергор (отв. ред. ) и др.]. 
 - Москва :  МИЭТ,  1982. 
 - 93 с. :  ил. 
<br/><br/>Библиогр. в конце ст. 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Микроэлектроника - Физические основы