Гиваргизов, Евгений Инвиевич Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники / Е.И. Гиваргизов ; С пред. Е.П. Велихова. - Москва : Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит., 1988. - 176 с. - Проблемы науки и технического прогресса . ISBN: 1.90 Subjects--Topical Terms: Физика