TY - BOOK AU - Мейер,Дж AU - Эриксон,Л. AU - Дэвис,Дж AU - Гусев,В.М. TI - Ионное легирование полупроводников: (Кремний и германий) : Пер. с англ. PY - 1973/// CY - Москва PB - Мир KW - Машиностроение N1 - Библ. 335 назв; Оригинал на англ.; James W. Mayer, Lennart Eriksson, John A. Davis -; New York : Academic Press : 1970 ER -