TY  - BOOK
AU  - Лютович,Абрам Срулевич
AU  - Саидов,М.С.
ED  - Институт электроники АН Узбекской ССР
TI  - Ионно-активированная кристаллизация пленок
PY  - 1982///
CY  - Ташкент
PB  - Фан
KW  - Получение тонких слоев, тонких пленок
ER  -