Лабунов, Владимир Архипович <br/><br/>
Окисление металлов и полупроводников в низкотемпературной кислородной плазме :  (по данным отечественной и зарубежной печати за 1962-1977 гг) / 
В.А. Лабунов, В.П. Пархутик; М-во электронной промышленности СССР. 
 - Москва :  ЦНИИ "Электроника",  1978. 
 - 70 с. 
 - Обзоры по электронной технике Микроэлектроника  Вып. I(557) .
<br/><br/>Библиогр.: с. 62 - 70 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Химия
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>анодирование металлов и полупроводников  кинетика анодирования