TY - BOOK AU - Раскин,A.A. AU - Раскин,Александр Александрович AU - Прокофьева,Виолетта Константиновна AU - Рощин,Владимир Михайлович AU - Силибин,Максим Викторович TI - Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники: Учебное пособие SN - 978-5-94774-913-7 PY - 2010/// CY - Москва PB - Бином. Лаборатория знаний KW - Электроника KW - Микроэлектроника N1 - Ч. 1 (163 с., ил.; Библиогр.: с. 164); А.А. Раскин, В.К. Прокофьева; Ч. 2 (180 с., ил.; Библиогр.: с. 178); В.М. Рощин, М.В. Силибин ER -