Измерение и контроль при производстве интегральных схем :  Сборник научных трудов / 
Моск. ин-т электрон. техники; Редкол.: Н.Д. Дубовой (гл. ред.) и др. 
 - Москва :  МИЭТ,  1984. 
 - 115 с. :  ил. 
<br/><br/>Библиогр. в конце ст. 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Микроэлектронные схемы интегральные - Технический контроль автоматический - Сборники Технический контроль автоматический - Микроэлектронные схемы интегральные