TY  - BOOK
AU  - Янушкявичюс,З.В.
ED  - Материалы Международной конференции
TI  - Ионная имплантация в полупроводниках и других материалах: Материалы VII-ой международной конференции (Вильнюс, 26-28 сентябр 1983 г.) 
PY  - 1985///
CY  - Вильнюс
PB  - МВ ССО ЛитССР
KW  - Полупроводники - Легирование ионное - Сборники
N1  - В надзаг.:М-во высш. и сред. спец. образования ЛитССР, Вильн. гос. ун-т им. В. Капсукаса
ER  -