Ионная имплантация в полупроводниках и других материалах :  Материалы VII-ой международной конференции (Вильнюс, 26-28 сентябр 1983 г.) / 
[Редкол.: З. В. Янушкявичюс (отв. ред.) и др.]. 
 - Вильнюс :  МВ ССО ЛитССР,  1985. 
 - 360 с. :  ил. 
<br/><br/> В надзаг.:М-во высш. и сред. спец. образования ЛитССР, Вильн. гос. ун-т им. В. Капсукаса 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Полупроводники - Легирование ионное - Сборники