TY  - BOOK
AU  - Комаров,Фадей Фадеевич
AU  - Новиков,А.П.
AU  - Ширяев,С.Ю.
AU  - Соловьев,В.С.
TI  - Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии
SN  - 5-7855-0192-9
PY  - 1990///
CY  - Минск
PB  - Университетское
KW  - Кремний - Дефекты
ER  -