TY  - BOOK
AU  - Янушонис,Стяпас Стяпонович
AU  - Янушонене,Вида-Катрина Юлевна
ED  - Академия наук ЛитССР
ED  - Институт физики полупроводников АН ЛитССР
TI  - Самоформирование в полупроводниковой технологии
PY  - 1985///
CY  - Вильнюс
PB  - Мокслас
KW  - Полупроводниковые приборы - Производство
KW  - Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
N1  - Библиогр.: с. 184-189
ER  -