Янушонис, Стяпас Стяпонович <br/><br/>
Самоформирование в полупроводниковой технологии / 
 Self-formation in semiconductor technologу 
С. Янушонис, В. Янушонене; АН ЛитССР, Ин-т физики полупроводников. 
 - Вильнюс :  Мокслас,  1985. 
 - 192 с. :  ил. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 184-189 
<br/><br/><br/>Загл. также: литов. 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Полупроводниковые приборы - Производство Микроэлектронные схемы интегральные - Производство