Дорфман, Вениамин Фриделевич <br/><br/>
Синтез твердотельных структур / 
В.Ф. Дорфман. 
 - Ленинград :  Металлургия,  1986. 
 - 273 с. :  ил. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 267-273 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Микроэлектронные схемы интегральные твердотельные