TY  - BOOK
AU  - Палатник,Лев Самойлович
AU  - Сорокин,Вадим Константинович
TI  - Основы пленочного полупроводникового материаловедения
PY  - 1973///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Полупроводниковое материаловедение - Физическое свойство
N1  - Библиогр.: с. 285-293
ER  -