TY  - BOOK
AU  - Блинов,И.Г
ED  - Московский институт электронной техники
TI  - Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники: Сборник научных трудов 
PY  - 1985///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - Электронная промышленность, предприятия - Оборудование
KW  - Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
N1  - Библиогр. в конце ст
ER  -