Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники :  Сборник научных трудов / 
Моск. ин-т электрон. техники; [Редкол.: И. Г. Блинов (гл. ред.) и др.]. 
 - Москва :  МИЭТ,  1985 
 - 119 с. :  ил. ;  20 см. 
<br/><br/>Библиогр. в конце ст. 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Электронная промышленность, предприятия - Оборудование Микроэлектронные схемы интегральные - Производство