Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники : Сборник научных трудов /
Моск. ин-т электрон. техники; [Редкол.: И. Г. Блинов (гл. ред.) и др.].
- Москва : МИЭТ, 1985
- 119 с. : ил. ; 20 см.
Библиогр. в конце ст.
Электронная промышленность, предприятия - Оборудование Микроэлектронные схемы интегральные - Производство