TY  - BOOK
AU  - Щеглова,Валентина Викторовна
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
ED  - Центральный научно-исследовательский институт "Электроника"
TI  - Защитные пленки в производстве полупроводниковых приборов: (краткий обзор по материалам отечественной и зарубежной печати за 1968 г.) 
PY  - 1969///
CY  - Москва
PB  - Изд-во ЦНИИ "Электроника"
KW  - Электронная техника
KW  - основные типы диэлектрических пленок
KW  - защитные пленки
N1  - Библиогр.: с.44 -49 (67 назв.)
ER  -