Щеглова, Валентина Викторовна. <br/><br/>
Защитные пленки в производстве полупроводниковых приборов :  (краткий обзор по материалам отечественной и зарубежной печати за 1968 г.) / 
В.В. Щеглова; М-во электронной промышленности СССР, ЦНИИ "Электроника". 
 - Москва :  Изд-во ЦНИИ "Электроника",  1969. 
 - 50 с. 
 - Полупроводниковые приборы .
<br/><br/>Библиогр.: с.44 -49 (67 назв.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Электронная техника
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>основные типы диэлектрических пленок защитные пленки