TY  - BOOK
AU  - Шаблов,В.И.
AU  - Беркушкина,Е.И.
AU  - Шарова,З.М.
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
ED  - Центральный научно-исследовательский институт "Электроника"
TI  - Оборудование триодного распыления материалов при разработке и производстве электроннолучевых и фотоэлектрических приборов: обзоры по электронной технике 
PY  - 1973///
CY  - Москва
PB  - Изд-во ЦНИИ "Электроника"
KW  - Электронная техника
KW  - оборудование ионно-плазменного распыления
KW  - приборы для измерения параметров тонких пленок
N1  - Библиогр.: с. 27 - 28 (31 назв.)
ER  -