Шаблов, В.И. <br/><br/>
Оборудование триодного распыления материалов при разработке и производстве электроннолучевых и фотоэлектрических приборов :  обзоры по электронной технике / 
В.И. Шаблов, Е.И. Беркушкина, З.М. Шарова; М-во электронной промышленности СССР, ЦНИИ "Электроника". 
 - Москва :  Изд-во ЦНИИ "Электроника",  1973. 
 - 29 с. 
 - Электровакуумные и газоразрядные приборы .
<br/><br/>Библиогр.: с. 27 - 28 (31 назв.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Электронная техника
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>оборудование ионно-плазменного распыления приборы для измерения параметров тонких пленок