TY  - BOOK
AU  - Черняев,Владимир Николаевич
AU  - Кожитов,Лев Васильевич
AU  - Попов,Анатолий Васильевич
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
TI  - Получение эпитаксиальных пленок кремния в вакууме и их свойства: обзоры по электронной технике 
PY  - 1973///
CY  - Москва
PB  - Изд-во Ин-т "Электроника"
KW  - Электронная техника
KW  - получения слоев кремния в вакууме
KW  - эпитаксиальные пленки
N1  - Вып. 5(88) (1973, 72 с., библиогр.: с. 66 - 72 (94 назв.)
ER  -