Черняев, Владимир Николаевич. <br/><br/>
Получение эпитаксиальных пленок кремния в вакууме и их свойства :  обзоры по электронной технике / 
В.Н. Черняев, Л.В. Кожитов, А.В. Попов; М-во электронной промышленности СССР. 
 - Москва :  Изд-во Ин-т "Электроника",  1973. 
 - вып. 
 - Материалы .
<br/><br/> Вып. 5(88) (1973, 72 с., библиогр.: с. 66 - 72 (94 назв.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Электронная техника
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>получения слоев кремния в вакууме эпитаксиальные пленки