TY  - BOOK
AU  - Гаврилов,Сергей Александрович
AU  - Белов,Алексей Николаевич
TI  - Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники: учеб. пособ. 
SN  - 978-5-9692-0304-4
PY  - 2009///
CY  - Москва
PB  - Высшее образование
KW  - Электрохимическое производство
KW  - электрохимические процессы
KW  - нанотехнология
KW  - электрохимическая кинетика
N1  - Библиогр.: с. 256 - 257
N2  - [Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии]
ER  -