Пленки окиси алюминия в производстве полупроводниковых приборов :  обзоры по электронной технике / 
З.П. Вишняков, З.В. Павлова, Н.А. Сенатова, Г.Б. Виноградов; М-во электр. промыш. СССР. 
 - Москва :  ЦНИИ "Электроника",  1971. 
 - 56 с. 
 - Полупроводниковые приборы  Вып. 4 .
<br/><br/>Библиогр.: с. 52 - 54 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводниковые приборы
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>электронная техника