TY  - BOOK
AU  - Гранков,И.В.
AU  - Гуревич,В.М.
AU  - Демин,Л.Н.
AU  - Юшков,Ю.В.
ED  - Министерство цветной меаталлургии СССР
TI  - Получение эпитаксиальных пленок кремния методом пиролиза силана: обзор. информ. 
PY  - 1976///
CY  - Москва
PB  - Цветметинформация
KW  - Цветная металлургия
KW  - эпитаксиальные пленки
N1  - Библиогр.: с. 44 - 49
ER  -