Получение эпитаксиальных пленок кремния методом пиролиза силана :  обзор. информ. / 
И.В. Гранков, В.М. Гуревич, Л.Н. Демин, Ю.В. Юшков; М-во цвет. металлургии СССР. 
 - Москва :  Цветметинформация,  1976. 
 - 52 с. 
 - Производство редких металлов .
<br/><br/>Библиогр.: с. 44 - 49 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Цветная металлургия
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>эпитаксиальные пленки