Всесоюзная конференция "Ионно-лучевая модификация материалов", 23-25 июня 1987 г., Черноголовка Московской области :  Тезисы оригинальных докладов. 

 - Черноголовка :  Б. и.,  1987. 
 - 279 с. :  ил. ;  20 см. 
<br/><br/> В надзаг.: Секция "Технология направл. обраб. поверхности" Науч. совета АН СССР "Физика, химия и механика поверхности", Секция "Ион. имплантация" Науч. совета АН СССР по пробл."Физика и химия полупроводников", Науч. совет ГКНТ по пробл. "Обраб. конструкц. материалов пучками заряж. частиц", Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР 
<br/><br/>Библиогр. в конце ст. 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Ионное легирование - Тезисы докладов