TY  - BOOK
AU  - Палатник,Лев Самойлович
AU  - Черемской,Петр Григорьевич
AU  - Фукс,Моисей Яковлевич
TI  - Поры в пленках
PY  - 1982///
CY  - Москва
PB  - Энергоиздат
KW  - Получение тонких слоев, тонких пленок
KW  - неоднородность роста аморфных пленок
KW  - микроусадка
N1  - Библиогр. 390 назв
ER  -