TY - BOOK AU - Миколайчук,Алексей Гордеевич AU - Фреик,Дмитрий Михайлович AU - Шперун,Владимир Михайлович AU - Кавич,Й.В. ED - Министерство высшего и среднего специального образования УССР ED - Львовский государственный университет TI - Процессы старения и окисления полупроводниковых пленок: Учеб. пособ. для студентов PY - 1979/// CY - Львов PB - Вища школа KW - Физика полупроводников KW - термодинамические свойства KW - окисление теллурида свинца N1 - Библиогр. 33 назв ER -