TY  - BOOK
AU  - Ильин,Г.Д.
ED  - Институт точной механики и вычислительной техники
TI  - Методы и проблемы напыления окислов и металлов в низкотемпературной плазме
PY  - 1970///
CY  - Москва
PB  - Изд-во ИТМ-ВТ АН СССР
KW  - Электронная техника
KW  - низкотемпературная плазма
KW  - напыления окислов
N1  - Библиогр.: с. 26 - 28 (21 назв.)
ER  -