TY - BOOK AU - Смородина,Татьяна Александровна AU - Шефталь,Николай Наумович AU - Цуранов,Александр Павлович AU - Смирнов,И.А. TI - Вхождение примесных центров в кристаллический слой полупроводника: (Процессы образования монокристал. слоев для микроэлектроники) PY - 1986/// CY - Ленинград PB - Наука. Ленингр. отд-ние KW - Полупроводники ER -