TY  - BOOK
AU  - Докунина,Наталия Ивановна
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
TI  - Измерение толщины тонких пленок отличающихся электрофизическими свойствами
PY  - 1970///
CY  - Москва
PB  - Ин-т "Электроника"
KW  - Электрофизические свойства пленок
KW  - полупроводниковые приборы
N1  - Библиогр. : с. 28 - 29
ER  -