Докунина, Наталия Ивановна <br/><br/>
Измерение толщины тонких пленок отличающихся электрофизическими свойствами / 
Н.И. Докунина; М-во электронной промышленности СССР. 
 - Москва :  Ин-т "Электроника",  1970. 
 - 31 с. 
 - Обзоры по электронной технике Контрольно-измерительная аппаратура  Вып. 7 (181) .
<br/><br/>Библиогр. : с. 28 - 29 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Электрофизические свойства пленок
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>полупроводниковые приборы