TY  - BOOK
AU  - Докучаев,Ю.П.
AU  - Разгуляев,И.И.
ED  - Министерство электронной промышленности
ED  - Центральный научно-исследовательский институт "Электроника"
TI  - Использование метода каналирования для исследования поверхностных ионнолигированных слоев в полупроводниках: обзоры по электронной технике 
PY  - 1974///
CY  - Москва
PB  - Изд-во ЦНИИ "Электроника"
KW  - Физика полупроводников
KW  - тяжелые заряженные частицы
KW  - решетка кристалла
N1  - Библиогр.: с. 49 - 53 (88 назв.)
ER  -