TY  - BOOK
AU  - Гришин,Олег Флорентьевич
AU  - Карпович,Игорь Алексеевич
ED  - Министерство электронной промышленности
ED  - Центральный научно-исследовательский институт "Электроника"
TI  - Нанесение диэлектрических пленок методом высокочастотного плазменного распыления: обзоры по электронной технике 
PY  - 1968///
CY  - Москва
PB  - Изд-во ЦНИИ "Электроника"
KW  - Электронная промышленность
KW  - диэлектрические пленки
KW  - плазменное распыление
N1  - Библиогр.: с. 37 - 38 (36 назв.)
ER  -